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SEC-Z500X系列 Horiba質(zhì)量流量計高精度±1.0%設(shè)定點。該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由HORIBA STEC公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。 高速響應(yīng)：裝配“可變PID系統(tǒng)”，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn)1秒響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點設(shè)置不斷變化。

horiba流量計SEC-Z700S可以直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量，測量精度為0.2級，流體測量管內(nèi)部無障礙物和活動部件，因而可靠性高、壽命長。

Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，是半導(dǎo)體中設(shè)備CVD機臺、Etch機臺中的氣體控制核心部件

Horiba質(zhì)量流量計D500系列具有壓力非敏感性，自帶顯示功能，控制范圍廣，可應(yīng)對多種氣體、多種量程、不同壓力條件，適用于高精工藝需求。